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        單晶硅制造生產線的諧波問題如何解決?

        來源:希拓電氣(常州)有限公司    日期:2020-07-23    瀏覽量:載入中...

        單晶硅作為一種極具潛能,亟待開發利用的高科技資源,正越來越多的被關注和重視。其生產工藝分熔融加熱和直流加熱,熔融加熱多采用中頻加熱爐,直拉式單晶多采用直流加熱爐。但不論是中頻爐還是直流爐加熱,均采用半導體可控整流方式,它們本身工作過程中會產生非常大量電流諧波,對電網造成諧波污染,這些諧波使得精密儀器精度失準甚至誤動作,破壞了系統的無功補償,造成系統供電損耗的增加及損壞補償電容器等,對于單晶硅復雜的生長過程以及后期的精密加工流程都造成非常大的影響,因此電網的品質間接決定著單晶硅成品材料的品質,幾乎所有的單晶硅制造生產線都面臨諧波問題。


        根據現場配電室工況和測試結果,主要是大量的中頻爐以及部分大功率開關電源在工作過程中產生了大量的諧波電流,進而帶來電壓的畸變,而大量的諧波電流經過無功補償設備的放大使得電流諧波更加嚴重,電壓畸變率高達11.6%。諧波經常造成無功補償設備得電容損壞,以及生產車間個別設備誤動作甚至器件損壞。


        通過投入有源電力濾波器治理諧波,電網質量得到明顯的改善,諧波電壓、諧波電流大幅度降低,有效地保護了無功補償裝置的電容以及生產線上的精密設備的正常運行。

        有源電力濾波器

        STF有源電力濾波器


        希拓電氣STF有源電力濾波器基于高速的濾波補償技術,消除各種形式的諧波,可應用于各種在諧波污染的工況,尤其適用于快速變化的負載。具有響應速度快、濾波范圍廣、濾波效果高、不受系統參數影響等特點,達到改善電能質量,降低電網損耗、提高供電利用效率和帶載能力的目的,是理想的濾波產品。

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